随着微电子及光学技术的发展,纳米级薄膜的厚度及光学常数测量变得愈发重要。椭圆偏振技术作为一种非破坏性的高精度测量手段,广泛应用于半导体、光伏及光学镀膜领域。汇策晟安检测提供专业的椭圆偏振测试服务,为客户揭示薄膜的微观光学特性。
服务内容
利用偏振光反射原理,测量单层或多层薄膜的厚度、折射率及消光系数。
套餐特点
采用光谱椭偏仪,覆盖宽波长范围,提高拟合精度。
支持透明及半透明薄膜的测试,具备多层膜结构解析能力。
测试标准
遵循相关行业标准及客户规范:
ASTM E1541、ISO 19221
半导体行业 SEMI 标准
注:具体模型建立可根据客户样品结构定制。
服务范围
服务于半导体晶圆、光学镜片、太阳能电池、显示面板及防腐涂层行业。
检测项目
| 测试参数 | 精度范围 |
|---|---|
| 薄膜厚度 | 亚纳米级精度 |
| 折射率 (n) | ±0.001 |
| 消光系数 (k) | ±0.001 |
测试周期
5-7 个工作日。
相关资质
具备 CNAS 及 CMA 双重认证资质。
我们的优势
汇策晟安检测拥有先进的光谱椭偏设备,可应对复杂多层膜结构;
技术人员精通光学建模,能准确解析未知材料的光学常数;
提供无损测试,样品测试后可直接返回产线使用。
薄膜参数的精确控制是提升器件性能的前提。椭圆偏振测试为客户提供了一种无损且高精度的检测方案。汇策晟安检测愿以专业的技术实力,助力客户在精密制造领域取得突破。
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