PFIB等离子体聚焦离子束显微镜

PFIB等离子体聚焦离子束显微镜

专业PFIB等离子体聚焦离子束显微镜服务,专攻3D NAND、DRAM等大尺寸(>50um)半导体样品截面加工、TEM制样及去层分析。无Ga污染,高精度微加工,快速交付。点击咨询!
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服务内容

检测项目报价单位样品类型
截面加工&量测小时(h)3D NAND、DRAM、MEMS等半导体类样品; 其它需要大尺寸(>50um)加工的样品
大尺寸TEM XS (截面) 制样小时(h)同上
大尺寸TEM PV (平面) 制样小时(h)同上
微加工(刻蚀或沉积)小时(h)同上
去层分析(Delayer)小时(h)热点样品去层分析

服务范围

详见服务内容,样品类型

检测项目

详见服务内容,检测项目

测试周期

常规测试周期为3个自然日。针对特殊要求可以提供48h、24h、12h的不同响应时效报价。

我们的优势

汇策集团晟安检测平台团队成员拥有平均5年以上的电镜实操经验,能够针对复杂的半导体样品(如3D NAND、先进封装)提供准确、快速、专业的PFIB加工服务。

我们配备的新一代PFIB镜筒,可实现业界领先的大尺寸(>50um)样品高通量截面加工与微加工能力;同时,结合独特的低电压(500V)最终抛光技术,能够制备出无Ga离子注入损伤的超高质量TEM样品,满足最严苛的原子级分析需求,为芯片研发和生产工艺控制提供可靠依据。

  • 荣誉资质
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  • 热处理室
    热处理室
  • 色谱分析室
    色谱分析室
  • 有机分析室
    有机分析室
  • 理化分析室
    理化分析室
  • 无机分析室
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  • 光谱分析室
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  • 原子吸收分光光度计(AAS)
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  • 离子色谱仪(IC)
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  • 原子荧光光度计(AFS)
    原子荧光光度计(AFS)
  • 气相色谱-质谱联用仪(GCMS)
    气相色谱-质谱联用仪(GCMS)
  • 快速溶剂萃取仪(ASE)
    快速溶剂萃取仪(ASE)
  • 顶空-气相色谱仪(HS-GC)
    顶空-气相色谱仪(HS-GC)
  • 液相色谱仪(LC)
    液相色谱仪(LC)
  • 闭口闪点仪
    闭口闪点仪
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杨经理 187****6696 30分钟前提交无人机测试需求
周总 136****0539 35分钟前提交机器人测试需求
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