老炼测试是芯片可靠性验证和生产筛选中不可或缺的一环。它通过施加温度、电压等应力,使芯片内部的潜在缺陷提前暴露,从而在出厂前剔除早期失效产品。本文将深入解析老炼测试提高可靠性的原理和机制。
理解老炼测试的价值,首先需要了解电子元器件的失效规律。
浴盆曲线:失效的三个阶段
电子元器件的失效率随时间变化,呈现典型的浴盆曲线特征,分为三个阶段:
| 阶段 | 时间特征 | 失效原因 |
|---|---|---|
| 早期失效期 | 使用初期 | 制造缺陷:氧化层缺陷、键合不良、污染、裂纹等 |
| 偶然失效期 | 正常工作期 | 随机外部因素:过压、ESD、过温等 |
| 耗损失效期 | 寿命末期 | 材料老化:电迁移、热疲劳、腐蚀等 |
老炼测试的核心目标就是通过加速应力,将早期失效期的产品在交付前剔除,使客户收到的产品进入偶然失效期,即失效率最低的阶段。
老炼测试的缺陷激发机制
老炼测试通过施加高于正常工作的应力,加速潜在缺陷的演化过程。
- 热应力:
- 高温加速了物理和化学反应的速率,如离子迁移、氧化层退化、金属间化合物生长
- 根据阿伦尼乌斯模型,温度每升高10℃,反应速率约提高1倍
- 125℃下1000小时的老炼,相当于常温下数年的应力
- 电压应力:
- 过压条件增大了电场强度,加速与电压相关的失效机制,如栅氧化层击穿
- 电压应力对漏电缺陷、绝缘层薄弱点特别有效
- 动态应力:
- 动态老炼使芯片内部节点不断翻转,激发与开关相关的缺陷
- 如传播延迟问题、动态漏电、时序冲突等
不同类型缺陷的老炼激发效果
| 缺陷类型 | 老炼激发机制 | 典型表现 |
|---|---|---|
| 栅氧化层缺陷 | 高温+电压加速陷阱产生 | 阈值电压漂移、漏电流增大 |
| 金属电迁移 | 高温+大电流加速原子迁移 | 互连线电阻增大、开路 |
| 离子玷污 | 高温+偏压加速离子移动 | 阈值电压不稳定、漏电 |
| 键合缺陷 | 热循环应力加速裂纹扩展 | 接触电阻增大、间歇性开路 |
老炼测试对可靠性的量化提升
通过老炼测试剔除早期失效产品后,交付批次的可靠性可以得到显著提升:
- 早期失效率降低:数据表明,经过100%老炼筛选的批次,早期失率可降低1-2个数量级
- 使用寿命延长:剔除潜在缺陷后,产品更稳定地进入偶然失效期,实际使用寿命延长
- 现场故障率下降:汽车电子等应用要求零缺陷,老炼是达到这一目标的关键手段
老炼测试的时间与应力选择
老炼测试的条件需要平衡筛选效果和成本:
- 时间太短:部分潜在缺陷未能激发,筛选不充分
- 时间太长:可能消耗正常使用寿命,且成本增加
- 应力太高:可能引入新的失效模式,或损坏正常产品
典型的老炼条件是通过大量实验数据和经验确定的:
- 工业级:125℃,168小时
- 车规级:125℃-150℃,1000小时
- 军工级:125℃-150℃,240小时以上
动态老炼 vs 静态老炼
动态老炼比静态老炼能更有效地激发缺陷:
| 对比项 | 动态老炼 | 静态老炼 |
|---|---|---|
| 内部节点 | 不断翻转 | 固定偏置 |
| 功耗 | 高,接近实际工作 | 低,主要为静态漏电 |
| 缺陷覆盖率 | 高,覆盖动态和静态缺陷 | 低,仅覆盖静态缺陷 |
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