电子显微分析 SEM/FIB/TEM

面向半导体、金属、陶瓷、粉体和薄膜材料开展微观形貌、元素及结构分析。

SEM EDS FIB TEM STEM 薄膜厚度

核心检测项目

SEM/FIB 模块

  • SEM 表面形貌
  • 断口分析
  • 粒径和分布观察
  • EDS 元素分析
  • FIB 定点切割
  • FIB 截面制备
  • 芯片截面观察
  • 薄膜及层间结构观察

TEM/STEM 模块

  • TEM 形貌
  • 明场和暗场
  • STEM
  • HAADF-STEM
  • 晶格和界面观察
  • 薄膜厚度
  • 纳米结构
  • 选区电子衍射
  • 元素分布分析

样品制备模块

  • 粉末样品
  • 块体样品
  • 薄膜样品
  • 芯片样品
  • 截面样品
  • FIB 薄片制备
  • 是否导电
  • 是否易氧化
  • 是否含磁性
  • 目标观察位置

适用样品

半导体样品
金属材料
陶瓷材料
粉体材料
薄膜材料
芯片样品
截面样品
纳米材料

检测参数/方法/标准表

模块可看内容输出样品关注点
SEM/EDS表面形貌、断口、元素图片、谱图、面分布导电性、表面状态、目标区域
FIB定点截面、层间结构截面图和位置说明目标位置和保护层需求
TEM/STEM晶格、界面、纳米结构高分辨图片、衍射或元素分布薄片制备和样品稳定性
具体检测项目、标准及报告资质以实验室实际能力范围和工程师确认结果为准。

样品要求

样品类型
目标观察位置
是否导电
是否易氧化
是否含磁性
是否需要截面或薄片
目标放大倍数

检测交付内容

原始图片
标尺和放大倍数
元素谱图或面分布
截面图
薄膜厚度数据
观察位置说明
分析报告

服务流程

1
提交需求
2
确认项目和标准
3
确认样品要求
4
寄样或送样
5
检测执行与沟通
6
报告交付

为什么选择汇策

第三方检测技术服务,按样品、用途和标准确认检测路径
工程师协助确认执行标准、样品状态和关键参数
支持寄样与项目进度沟通,便于研发、质量和采购团队协同
可根据产品用途匹配测试方案,减少重复送样和补测
提供规范检测数据、测试条件记录和报告交付
多类检测项目可协同安排,适合组合测试和失效追因

常见问题 FAQ

SEM 和 TEM 有什么区别?

SEM 更适合表面形貌和微区元素,TEM 更适合透射观察纳米结构和晶格信息。

哪类样品需要喷金?

非导电样品可能需要导电处理,具体取决于观察目的和样品要求。

FIB 能否定点切到指定位置?

可根据样品定位信息和目标区域评估定点制样。

TEM 样品为什么需要很薄?

电子束需穿透样品,TEM 样品通常需要制备成足够薄的区域。

是否可以测量薄膜厚度?

可以通过截面观察等方式评估薄膜或层间厚度。

能否提供元素面分布?

可根据设备和样品状态提供 EDS 或相关元素分布数据。

图片是否包含原始数据?

可按项目需求交付图片、标尺、谱图和报告。

样品制备是否单独收费和计时?

制样复杂度会影响周期和费用,需在方案阶段确认。

底部咨询表单

  • 电话咨询:400-878-8598
  • 微信咨询:扫码或提交表单后由工程师对接
  • 具体检测项目、标准及报告资质以实验室实际能力范围和工程师确认结果为准。
提交成功,我们会尽快联系您。您也可以直接拨打页面电话沟通样品要求。
×
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